ULVAC爱发科

【京都玉崎】【ULVAC爱发科】高速光谱椭偏仪UNECS-3000A

自动型型号:UNECS-3000AUNECS系列是一款光谱椭偏仪,可高速、高精度地测量薄膜厚度和折射率。它采用独特的测量方法,实现了高速测量和紧凑尺寸。300mm自动R-θ平台和自动对焦功能可快速自动测量基板表面内的膜厚分布,并将结果显示为彩色图。前往产品信息

  • 型号: UNECS-3000A
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自动型

型号:UNECS-3000A

UNECS系列是一款光谱椭偏仪,可高速、高精度地测量薄膜厚度和折射率。
它采用独特的测量方法,实现了高速测量和紧凑尺寸。300mm
自动R-θ平台和自动对焦功能可快速自动测量基板表面内的膜厚分布,并将结果显示为彩色图。


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