ULVAC爱发科

【京都玉崎】【ULVAC爱发科】等离子发生电源A2K

脉冲单元_型号:A2KA2K系列是将直流输出转换为脉冲输出的外部装置。该系列通过连接直流电源,消除靶材上的电荷,防止异常放电。与直流电源组合使用,可作为大功率直流脉冲电源系统使用。此外,作为抑制异常放电的脉冲装置,它能够在各种工艺中稳定运行,实现高性能的异常放电处理(电弧处理)。A2K系列支持高效可靠的沉积工艺。脉冲单元_型号:A2K型号:A2K“型号:A2K”可作为直流电源的外部装置使用,是一种

  • 型号: A2K

脉冲单元_型号:A2K

A2K系列是将直流输出转换为脉冲输出的外部装置。该系列通过连接直流电源,消除靶材上的电荷,防止异常放电。与直流电源组合使用,可作为大功率直流脉冲电源系统使用。
此外,作为抑制异常放电的脉冲装置,它能够在各种工艺中稳定运行,实现高性能的异常放电处理(电弧处理)。A2K系列支持高效可靠的沉积工艺。

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脉冲单元_型号:A2K

型号:A2K

“型号:A2K”可作为直流电源的外部装置使用,是一种将直流输出转换为脉冲输出并中和目标电荷的异常放电防止装置。


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