【京都玉崎】【ULVAC爱发科】等离子发生电源MFU-20K
双极单元_型号：MFUMFU 是一款将直流输出转换为双极脉冲输出的外部装置。通过与直流电源组合，它可以用作高功率双极脉冲电源系统，并可用于采用双阴极的溅射工艺。这极大地扩展了工艺范围。MFU不仅适用于金属膜，也适用于反应性膜沉积工艺。它还能在防止阳极损耗的同时实现稳定的溅射，从而实现高质量的膜沉积。双极单元_型号：MFU型号：MFU-20KMFU 可作为直流电源的外部装置使用，是用于双阴极溅射的双
- 型号： MFU-20K
双极单元_型号：MFU
MFU 是一款将直流输出转换为双极脉冲输出的外部装置。通过与直流电源组合，它可以用作高功率双极脉冲电源系统，并可用于采用双阴极的溅射工艺。这极大地扩展了工艺范围。MFU
不仅适用于金属膜，也适用于反应性膜沉积工艺。它还能在防止阳极损耗的同时实现稳定的溅射，从而实现高质量的膜沉积。
双极单元_型号：MFU
型号：MFU-20K
MFU 可作为直流电源的外部装置使用，是用于双阴极溅射的双极装置。
它不仅对金属膜有效，而且对反应性膜的形成也有效。它可在不损失阳极的情况下实现稳定的溅射。