特点/应用/目的特征■采用独特的腔体结构，减少门型支柱的尺寸，节省空间。■可根据加压精度选择加压方式（液压加压、伺服电机加压）。■通过独特的技术，提高加压面精度和负载分布，非常适合扩散键合（新增校正功能）。目的扩散键合、金刚石刀片、靶材新增校正功能传统方法需要进行精细调整，而新方法进一步改善了低压区域的负载分布。定制■ 使用快速冷却装置减少循环■ 使用条形码阅读器等进行配方管理■ 用于大面积的多轴
| 特征 | ■采用独特的腔体结构，减少门型支柱的尺寸，节省空间。 ■可根据加压精度选择加压方式（液压加压、伺服电机加压）。 ■通过独特的技术，提高加压面精度和负载分布，非常适合扩散键合 （新增校正功能）。 |
|---|---|
| 目的 | 扩散键合、金刚石刀片、靶材 |
| 新增校正功能 | 传统方法需要进行精细调整，而新方法进一步改善了低压区域的负载分布。 |
| 定制 | ■ 使用快速冷却装置减少循环 ■ 使用条形码阅读器等进行配方管理 ■ 用于大面积的多轴压机 |
[可定制产品：我们提供各种形状以满足您的需求。]
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| 压力（吨） | 3 | 6 | 三十 | 60 | 100 | 150 |
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| 按压法 | 伺服电机 | 液压 | 液压 | 液压 | 液压 | 液压 |
| 温度（℃） | 400 | 600 | 1,000 | 1,200 | 2,000 | 1,200 |
| 新闻区 | φ80 | W140×D180 （1轴×2） | φ150 | φ184 | φ150 | φ260 |
| 有效尺寸 | φ100×H200 | □140×H280 （每轴） | φ150×H250 | φ184×H258 | φ200×H180 | φ300×H450 |
| 气氛 | 真空 | 真空、氮气、氩气 | 真空、氮气 | 真空 | 应收账 | 真空 |