日本大亚真空Diavac

【京都玉崎】【日本大亚真空Diavac】真空热压机DAB-A-40

特点/应用/目的特征■紧凑、经济,适用于研究和开发■对准单元为小型台式■易于在大气中粘合■标准样品尺寸为 4 英寸(可选最大 6 英寸)■还可连接真空排气套件(DS-422T)目的各种传感器、微机械、生物材料、各种光学应用目的该装置通过在大气中施加高压,可以将加热的硅基板或其他金属粘合到玻璃基板上。[可定制产品:我们提供各种形状以满足您的需求。]DAB-A-40标准规格极化连接装置・φ100平面加

  • 型号: DAB-A-40

特点/应用/目的

  • 阳极键合设备
  • 特征■紧凑、经济,适用于研究和开发
    ■对准单元为小型台式
    ■易于在大气中粘合
    ■标准样品尺寸为 4 英寸(可选最大 6 英寸)
    ■还可连接真空排气套件(DS-422T)
    目的各种传感器、微机械、生物材料、各种光学应用
    目的该装置通过在大气中施加高压,可以将加热的硅基板或其他金属粘合到玻璃基板上。

    [可定制产品:我们提供各种形状以满足您的需求。]

DAB-A-40标准规格

极化连接装置・φ100平面加热器
・最高加热温度500℃
・温度分布宽度20℃(加热器表面,保持时)
・电极(手动升降式)
・基板支架(φ100,机械卡盘式)


对准装置
(单独)
手动操作
. X, Y, Z 台
 行程:
  X ±5mm,
  Y ±5mm ,
  Z ±5mm
. θ 旋转台±5°
. 对准精度:5μm 或更小
. 样品尺寸:4 英寸或更小(每种尺寸的支架是可选的)
. 观察装置(双视野显微镜)。
 镜头间距:20mm 至 60mm(可变)。
 总放大倍数:160 倍.
 监视器和照明。
电气系统・加热器控制用温度控制器
・直流高压电源MAX.1.5kV-10mA
・记录仪(图表宽度100m)
安全措施・断水继电器
・真空室顶盖关闭时施加高压(限位开关)
・平板加热器过热
公用事业尺寸:W570 x D750 x H1400(仅主机)
N2气 0.05至0.1 MPa
冷却水 0.1 MPa 2 L/min
电源容量 3 mm 200 V 3.0 kVA
选项・真空排气装置(配备涡轮分子泵)DAV-V-40
・相机倍率调整
・样品尺寸调整(6英寸、3英寸、1英寸方)
・多台型、高温型
・附带冷却机构、加热器内置电极、支持加压气氛
・高精度型DAB-V-S40

如需上述以外的规格,请联系我们。


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