【京都玉崎】【日本大亚真空Diavac】真空热压机DAB-A-40
特点/应用/目的特征■紧凑、经济,适用于研究和开发■对准单元为小型台式■易于在大气中粘合■标准样品尺寸为 4 英寸(可选最大 6 英寸)■还可连接真空排气套件(DS-422T)目的各种传感器、微机械、生物材料、各种光学应用目的该装置通过在大气中施加高压,可以将加热的硅基板或其他金属粘合到玻璃基板上。[可定制产品:我们提供各种形状以满足您的需求。]DAB-A-40标准规格极化连接装置・φ100平面加
- 型号: DAB-A-40
特点/应用/目的特征■紧凑、经济,适用于研究和开发■对准单元为小型台式■易于在大气中粘合■标准样品尺寸为 4 英寸(可选最大 6 英寸)■还可连接真空排气套件(DS-422T)目的各种传感器、微机械、生物材料、各种光学应用目的该装置通过在大气中施加高压,可以将加热的硅基板或其他金属粘合到玻璃基板上。[可定制产品:我们提供各种形状以满足您的需求。]DAB-A-40标准规格极化连接装置・φ100平面加
特征 | ■紧凑、经济,适用于研究和开发 ■对准单元为小型台式 ■易于在大气中粘合 ■标准样品尺寸为 4 英寸(可选最大 6 英寸) ■还可连接真空排气套件(DS-422T) |
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目的 | 各种传感器、微机械、生物材料、各种光学应用 |
目的 | 该装置通过在大气中施加高压,可以将加热的硅基板或其他金属粘合到玻璃基板上。 |
[可定制产品:我们提供各种形状以满足您的需求。]
极化连接装置 | ・φ100平面加热器 ・最高加热温度500℃ ・温度分布宽度20℃(加热器表面,保持时) ・电极(手动升降式) ・基板支架(φ100,机械卡盘式) |
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对准装置 (单独) | 手动操作 . X, Y, Z 台 行程: X ±5mm, Y ±5mm , Z ±5mm . θ 旋转台±5° . 对准精度:5μm 或更小 . 样品尺寸:4 英寸或更小(每种尺寸的支架是可选的) . 观察装置(双视野显微镜)。 镜头间距:20mm 至 60mm(可变)。 总放大倍数:160 倍. 监视器和照明。 |
电气系统 | ・加热器控制用温度控制器 ・直流高压电源MAX.1.5kV-10mA ・记录仪(图表宽度100m) |
安全措施 | ・断水继电器 ・真空室顶盖关闭时施加高压(限位开关) ・平板加热器过热 |
公用事业 | 尺寸:W570 x D750 x H1400(仅主机) N2气 0.05至0.1 MPa 冷却水 0.1 MPa 2 L/min 电源容量 3 mm 200 V 3.0 kVA |
选项 | ・真空排气装置(配备涡轮分子泵)DAV-V-40 ・相机倍率调整 ・样品尺寸调整(6英寸、3英寸、1英寸方) ・多台型、高温型 ・附带冷却机构、加热器内置电极、支持加压气氛 ・高精度型DAB-V-S40 如需上述以外的规格,请联系我们。 |