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【京都玉崎】【日本NSC科学】用于故障分析的干蚀刻设备ES373

开启装置打开药PS105激光开封PL201DPL201-20/PL221Plasma 开箱MP101切割、研磨、抛光、拆包BA102干蚀刻设备ES373ES403测试设备FB102-0FB200产品列表用于故障分析的干蚀刻设备概述和特点ES373是用于分析采用精细工艺设计的LSI故障的干法蚀刻系统。它具备专用设备才具备的功能和易用性,例如可充分处理多层布线的大纵横比以及蚀刻条件的记忆功能。蚀刻条件

  • 型号: ES373
    用于故障分析的干蚀刻设备
    图片关键词
    图片关键词
    概述和特点
    • ES373是用于分析采用精细工艺设计的LSI故障的干法蚀刻系统。它具备专用设备才具备的功能和易用性,例如可充分处理多层布线的大纵横比以及蚀刻条件的记忆功能。

    • 蚀刻条件记忆功能和两步程序功能

    • 可保存加工条件,维护方便

    • 规范历史记录

    • 使用珀尔帖元件控制台面温度

    • VCR 接头用于工艺气体管道

    • 也兼容干泵

    蚀刻结果
    聚酰亚胺蚀刻
    图片关键词


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