【京都玉崎】【日本NSC科学】用于故障分析的干蚀刻设备ES373
开启装置打开药PS105激光开封PL201DPL201-20/PL221Plasma 开箱MP101切割、研磨、抛光、拆包BA102干蚀刻设备ES373ES403测试设备FB102-0FB200产品列表用于故障分析的干蚀刻设备概述和特点ES373是用于分析采用精细工艺设计的LSI故障的干法蚀刻系统。它具备专用设备才具备的功能和易用性,例如可充分处理多层布线的大纵横比以及蚀刻条件的记忆功能。蚀刻条件
- 型号: ES373
开启装置打开药PS105激光开封PL201DPL201-20/PL221Plasma 开箱MP101切割、研磨、抛光、拆包BA102干蚀刻设备ES373ES403测试设备FB102-0FB200产品列表用于故障分析的干蚀刻设备概述和特点ES373是用于分析采用精细工艺设计的LSI故障的干法蚀刻系统。它具备专用设备才具备的功能和易用性,例如可充分处理多层布线的大纵横比以及蚀刻条件的记忆功能。蚀刻条件
ES373是用于分析采用精细工艺设计的LSI故障的干法蚀刻系统。它具备专用设备才具备的功能和易用性,例如可充分处理多层布线的大纵横比以及蚀刻条件的记忆功能。
蚀刻条件记忆功能和两步程序功能
可保存加工条件,维护方便
规范历史记录
使用珀尔帖元件控制台面温度
VCR 接头用于工艺气体管道
也兼容干泵