【京都玉崎】【日本CANON ANELVA】离子泵/Noble泵
离子泵/诺布尔泵是一种超高真空泵，通过在磁场中产生冷阴极放电来抽空气体，使电离的气体分子嵌入阴极，然后在与阴极碰撞时溅射阴极材料（Ti），不断产生活性吸气膜。成分特征目的规格外形尺寸规格20 L/s 离子泵/Noble 泵泵姓名20 L/s离子泵20升/秒Noble泵型号名称912-7125912-7120抽速（对于N2气体）20升/秒操作范围（注1）10 -1至 10 -9帕1至10-9帕启动压
- 型号： 离子泵/Noble泵
离子泵/诺布尔泵是一种超高真空泵，通过在磁场中产生冷阴极放电来抽空气体，使电离的气体分子嵌入阴极，然后在与阴极碰撞时溅射阴极材料（Ti），不断产生活性吸气膜。
