Iwaki 气动点胶机 SB 系列IWAKI易威奇

Iwaki 气动点胶机 SB 系列IWAKI易威奇

非常适合半导体制造工艺中的抗蚀剂涂层工艺。

“易威奇气动点胶机SB系列”是一款可以满足半导体制造工艺的抗蚀剂涂敷工艺等各种需求的泵。


■□■特点■□■

■高精度地测量和分配高精度
光刻胶和其他化学溶液。
为了优化滴落的抗蚀剂量，提高了每次喷射的点胶精度，并安装了回吸装置（可选）以防止抗蚀剂从排出端滴落。
波纹管内部死体积极小，该结构可防止液体停滞。
采用无密封结构和低速气缸，可低速注入抗蚀剂。
防止空气进入光刻胶。

■不锈钢/氟树脂
接液部件材料有不锈钢（SUS304）和氟树脂（PTFE、PFA）类型。具有优异的耐腐蚀性，可安全用于高分辨率、高纯度光刻胶等液体质量控制，无液体污染。

■轻巧紧凑的设计
该泵可以立式或卧式安装。
（SB-4K/5/6 除外。）
可以选择最适合系统集成的形状。

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基本信息Iwaki 气动点胶机 SB 系列

[泵的一般规格]
■最大吐出量：100mL/冲程
■最大吐出压力范围：0.05～0.1MPa
■供气压力范围：0.15～0.5MPa
■最大空气消耗量：1.0NL/冲程
■主要材质：SUS304 / PTFE ，PFA
■液体温度范围：20 – 60℃

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