气动低脉动波纹管泵 FLP系列IWAKI易威奇

气动低脉动波纹管泵 FLP系列IWAKI易威奇
可以实现低脉动传递，并提高了额外的跟随性！空气消耗量减少高达 30%

“FLP系列”是利用独特的驱动机构实现低脉动传递的气动波纹管泵。与传统产品相比，空气消耗量减少高达30%。

此外，无需安装阻尼器，节省空间。配管作业也变得容易，并且可以减少昂贵的配管材料的需求，从而可以降低总成本。

[特点]
■消除脉动的独特驱动机构
■适合单晶圆清洗工艺的优异的负载追随性
■有助于设备的小型化、轻量化

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基本信息气动低脉动波纹管泵 FLP 系列

【FLP-60W一般规格】
■最大吐出量...50L/min（供给气压0.1MPa、淡水20℃）
■使用液体温度范围...5 – 100℃・101 – 150℃・151 – 180 ℃
■最大输送液粘度...50 mPa·s
■连接配管口...Φ25mm x Φ22mm（管）

[FLP-75W通用规格]
■最大排出量...92L/min（供给气压0.3MPa、淡水20℃）
■使用液体温度范围：5 – 100℃・101 – 150℃・151 – 180℃
■最大输送液体粘度：50mPa・s
■吸入侧
■连接管直径 φ31.8mm × φ28.0mm（PFA） )
Super 300 型 1-1/4" 联管螺母，带套筒
■排出侧连接管直径 φ25.4mm × φ22.2mm (PFA)
Super 300 型 1" 联管螺母，含套筒

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