测量原理：氧化锆浓差电池式，整套系统由LD‑600转换器 + SD系列直插传感器组成，扩散式原位测量，无需取样泵与取样管路，支持高真空‑常压工况，主打设备内嵌集成，搭载EtherCAT工业总线。

核心性能参数

‑ 测量量程：0.001ppm～100vol% O₂；可选氧分压输出10⁻²⁰～10⁰ atm；＜1ppm区间不在质保范围‑ 重复性：≥1%FS量程≤±0.5%FS；＜1%FS量程≤±1.0%FS或±0.1ppm（取较大值）；零点漂移≤±1%FS/24h ‑ 预热时间：≤6分钟，快速投入监测；T90响应速度快，无管路滞后 ‑ 压力适配：绝对压力10⁻³Pa～200kPa，完美适配真空腔体到微正压保护气氛；0流量扩散测量也可正常工作 ‑ 通讯接口：EtherCAT（CoE/FoE），无本机显示屏，依靠总线输出浮点ppm数据；无传统模拟输出 ‑ 供电：DC24V±10%，3A；最大功耗80VA，稳态30VA ‑ 转换器外形：65(W)×130(H)×125(D)mm，重量约0.8kg，壁挂/机柜安装，体积小巧紧凑 ‑ SD传感器接口：NW16 / NW25 / NW40真空法兰、R3/8螺纹可选；传感器总长100mm；线缆标配2m，最大可延长至10m ‑ 使用条件：转换器0‑40℃；传感器0‑100℃；样气露点低于环境温度；禁止卤素、硅酮、油雾、腐蚀性气体 ‑ 认证：CE、RoHS合规

SD传感器可选型号

‑ SD16‑NW：NW16小真空法兰，小型腔体 ‑ SD25‑NW：NW25通用法兰，市面主流 ‑ SD40‑NW：NW40大法兰，ppb微量氧场景 ‑ SD3/8‑R：R3/8螺纹安装，非真空常压腔体

产品特点

1. 真空直插入式测量，不用抽气泵，消除取样管路渗漏带来微量氧测量误差，真空炉、真空工艺腔体可直接安装使用。

2. EtherCAT工业高速总线，适配半导体、锂电成套自动化设备，对接设备PLC，适合设备OEM内嵌集成。

3. 分体式结构，SD传感器安装在工艺腔体，LD‑600转换器放置控制柜，隔离高温恶劣工况，布线灵活。

4. 传感器带专用防护涂层与保护机构，耐久性提升，支持7×24h连续运行；自带设备异常诊断，总线上报故障信息。

LD‑600与LD‑450对比区分

‑ LD‑450：具备4‑20mA模拟输出、继电器报警接点；可选RS‑232；无EtherCAT总线，适合传统控制柜项目。 ‑ LD‑600/SD：仅EtherCAT总线，无模拟输出；面向新一代工业自动化设备OEM集成，真空工况优先选型。

典型应用场景

半导体真空工艺腔体、真空热处理炉、锂电真空烧结炉、多工位真空腔体、惰性气氛真空设备微量氧监测。

提示：非防爆设备；高浓度氦气、还原性、含硅酮样气会损伤传感器；参数以TORAY东丽工程官方样本为准。